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Si基PZT压电薄膜

硅基PZT压电薄膜  
* PZT(锆钛酸铅)压电薄膜中的Zr/Ti组分比,厚度及晶体取向可根据用户要求进行调整

X线衍射仪(XRD)测量例:
2um厚PZT(52/48)薄膜的 δ-V:






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