PZT压电薄膜在PMUT医学成像中的使用

近期，来自复旦大学国家重点实验室的一个团队在科学期刊网站发表了一篇名为“Development of Broadband High-Frequency Piezoelectric Micromachined Ultrasonic Transducer Array”研究报告，该报告为通过在PMUT(压电微机械超声换能器)中添加以PDMS(聚二甲基硅氧烷)为衬底材料的背衬层使得在不改变元件尺寸大小的情况下让器件的带宽加倍。压电薄膜材料是PMUT器件中的核心零部件，而此项研究实验中的压电薄膜材料正是来自我司——卓膜科技有限公司。卓膜科技研发团队在其提供的硅基衬底上进行“电极材料（Ti/Pt）”和“PZT(锆钛酸铅)压电薄膜”沉积。PZT压电薄膜在通电后会产生形变和超声脉冲，实验正是利用其这特性完成。在此实验中，使用 10 ns 长的 30 V 脉冲对器件进行测试，在空气中，PMUT 的谐振频率为 19.0 MHz。PZT压电薄膜在此次实验中展现出稳定性好，耐高压，反应灵敏等优点。

现有研究发现使用PMUT成像比传统B超超声成像优势更大。传统B超需要涂润滑剂排除器械与皮肤之间的空气，探头大且只有一个探头，需要来回扫描，而PMUT是多阵列技术则可以消除空气影响直接使用，探头小且拥有多个，只需一次扫描就可完成，用时更快更短；PMUT可以制作成为手持无线设备，影像直接传输到手机或其他设备，传输模式更方便快捷；PMUT器械比传统B超更小，使用的电源小，方便携带，便利性更高。未来有很好的发展前景。卓膜科技可以在PMUT中提供材料和相关技术支持。

下面为摘自原文图3中的PMUT多阵列图：

摘自原文图3