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硅基Pt衬底
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硅基Pt衬底

Si-Pt硬质衬底 Si/Pt衬底材料 硅基耐高温 压电效应 佛山卓膜科技

可用于制作各种电子器件压电材料的衬底，可为各种电子器件提供极好的稳定性和可靠性。可广泛应用于传感，微驱动，红外探测，能量收集等高精技术领域，特别在智能穿戴、医疗健康、绿色能源、汽车及手机用电子部件等市场领域。可为客户定制各种器件。

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产品介绍
Si-Pt硬质衬底的耐热性好，耐热800°C以上，适用于各种高温场景。可用于制作各种电子器件压电材料的衬底，可为各种电子器件提供极好的稳定性和可靠性。可广泛应用于传感、微驱动、红外探测、能量收集等高精技术领域，特别在智能穿戴、医疗健康、绿色能源、汽车及手机用电子部件等市场领域。可为客户定制各种器件。


产品参数

标准结构Si基片
产品尺寸表面粗糙度
耐热温度产品特点

Si+SiO2+Ti+Pt(111)

SiO2: 300nm

Ti: 20nm

Pt: 150nm

P型掺B

电阻率:≥1 ohm.cm

单面抛光



10mm×10mm,20mm×20mm

dia 2"~6"



RMS<1.5nm
~800℃ 1hr
稳定性好、耐高温、可广泛应用、支持产品定制


应用范围

1)智能穿戴：为生活智能化提供解决方案。

2)医疗健康：更方便获取生命信息。

3)绿色能源：环保、节省燃料、减少排放。

4)汽车电子部件：提高工业生产效率和品质。

5)手机电子部件：提高工业生产效率和品质。

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